Китай оттачивает инструменты для гонки чипов

Китай приближается к мировым лидерам в области технологий производства микросхем. Исследователи Чжэцзянского университета в Ханчжоу представили первую в стране коммерческую систему электронно-лучевой литографии, названную Сиджи в честь знаменитого каллиграфа Ван Сиджи. Установка направляет сфокусированный электронный луч на кремниевые пластины, нанося схемы с исключительной точностью. По словам команды, она способна создавать элементы шириной всего 8 нанометров с точностью выравнивания 0,6 нанометра.

Достижение произошло на фоне ужесточения Вашингтоном экспортного контроля за передовым оборудованием для производства полупроводников. В 2022 году США ограничили поставки электронно-лучевых систем и оказали давление на правительство Нидерландов, чтобы оно сократило продажи самых передовых машин ASML китайским покупателям. Оставшись без критически важных импортных технологий, Пекин ускорил развитие собственных решений.

Точность встречает стену производительности

Хотя Сиджи демонстрирует выдающуюся точность, он также подчеркивает знакомое ограничение. Электронно-лучевая литография работает точка за точкой, поэтому производство одной пластины занимает часы. Технология незаменима для исследований, испытаний и проектирования прототипов, но непрактична для массового производства.

Для коммерческих микросхем Китай по-прежнему полагается на системы глубокого ультрафиолета, которые остаются основой его полупроводниковой промышленности. Новая машина пока не обеспечивает выпуск чипов в промышленных масштабах, но помогает китайским лабораториям сокращать научно-исследовательский разрыв с западными компаниями.

Взгляд в будущее

Системы ASML High-NA EUV по-прежнему значительно опережают по возможностям, однако прогресс Китая впечатляет. Каждое новое оборудование усиливает его способность экспериментировать и готовить инженеров внутри страны. Вопрос в том, смогут ли такие инновации, как Сиджи, когда-либо превратиться в производственные инструменты или останутся лишь промежуточными этапами. Пока разрыв с США остается значительным, но Китай явно быстро учится.